等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
触摸屏操作界面
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控，数据导出（可选）
模块多样化选择，多层托架可选，处理量大
v不分处理对象的基材类型，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理。
型号 |
PM-110L |
PR-110L |
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控制系统 |
控制方式 |
全自动控制（自动/手动切换） |
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PLC（标配）/PC（可选） |
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操作系统 |
Windows 10 |
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触摸屏 |
7寸 |
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整机规格 |
尺寸 |
W1000×D1200×H1700mm |
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腔体 |
尺寸 |
W500×D500×H450mm |
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材质 |
铝合金（标配）/不锈钢（可选） |
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电极 |
尺寸 |
W490×D417mm |
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层数 |
1-8层，可选 |
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托架 |
材质 |
铝合金（标配）/不锈钢（可选） |
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层数 |
1层 |
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真空计 |
皮拉尼式真空计 |
1个 |
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流量计 |
MFC质量流量控制器 |
2个；Ar、N2、O2（可选） |
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真空泵 |
机械油式旋片泵 |
1套 |
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发生器 |
中频/射频 |
40KHz，0~1000W |
13.56MHz，0~1000W |
额定功率 |
整机峰值功率 |
5KW |
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机台供电 |
三相五线式 |
AC-380V |
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选购品 |
干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件 |
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