等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

1.触摸屏操作界面

2.数字及图标多重工艺参数实时显示

3.三色灯异常报警功能

4.自动/手动操作模式切换

5.可存储多套工艺配方

6.远程操控，数据导出（可选）

7.模块多样化选择，多层托架可选，处理量大

等离子体处理可应用于所有的基材，甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。等离子刻蚀机的典型应用包括：

等离子体清除浮渣、光阻材料剥离、表面处理、等离子刻蚀反应、各向异性和各向同性失效分析应用材料改性、包装清洗、钝化层蚀刻、聚亚酰胺蚀刻、增强粘接力、生物医学应用、聚合反应、混合物清洗、预结合清洗

型号		JY-36LN
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
		PLC（标配）/PC（可选）
	操作系统	PLS定制
	触摸屏	15寸
整机规格	尺寸	W650×D900×H1650mm
腔体	尺寸	320×280mm
	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
电极	尺寸	W390×D317mm
	层数	1-7层，可选
托架	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
	层数	1层
真空计	皮拉尼式真空计	1个
流量计	MFC质量流量控制器	2个；Ar、N2、O2（可选）
真空泵	机械油式旋片泵	1套
发生器	中频/射频	40KHz，0~1000W	13.56MHz，0~500W
额定功率	整机峰值功率	4KW
机台供电	三相五线式	AC-380V
选购品	干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件