等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

v触摸屏操作界面

v数字及图标多重工艺参数实时显示

v三色灯异常报警功能

v自动/手动操作模式切换

v可存储多套工艺配方

v远程操控，数据砸导出（可选）

v模块多样化选择，多层托架可选，处理量大

v外观设计专利201930499619.5

v软件著作权 2019SR0011225

适合于材料表面清洁、活化

解决材料粘结不牢固和粘结不良的问题

适用于制作车间的批量生产以及制造

型号		PM-80LN	PR-80LN
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
		PLC（标配）/PC（可选）
	操作系统	Windows 10
	触摸屏	7寸
整机规格	尺寸	W850×D1100×H1700mm
腔体	尺寸	W450×D400×H450mm
	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
电极	尺寸	W440×D317mm
	层数	1-8层，可选
托架	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
	层数	1层
真空计	皮拉尼式真空计	1个
流量计	MFC质量流量控制器	2个；Ar、N2、O2（可选）
真空泵	机械油式旋片泵	1套
发生器	中频/射频	40KHz，0~1000W	13.56MHz，0~500W
额定功率	整机峰值功率	4KW
机台供电	三相五线式	AC-380V
选购品	干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件