真空等离子表面处理机大家现在也比较熟悉了，但在操作的过程中有时候会遇到故障或者机器报警的问题，不知道如何处理！今天小编给大家罗列出可能会遇到的问题，希望能帮到大家！
1. 真空等离子表面处理机出现泵热过载保护
当真空等离子表面处理机出现真空泵热过载保护时，应先检查系统的参数是否存在问题，当设备突然断电时，系统参数会清零，导致设备出现此类的报警情况。若参数无变化时，就需要确认热继电器是否自动保护，按下复位键，启动真空等离子处理系统的真空发生系统。若无自动保护，再检查电气线路是否有断路或短路的情况，如若以上均无异常，再检查真空泵情况。
2. 真空等离子表面处理机显示放空气体压力过低
在出现此种故障时，可能是气体未开启和气体已耗尽，需要检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无断路或者短路。
3. 真空等离子表面处理机真空泵倒计时故障
请检查真空泵抽空能力，故障排除后再点击复位键，材料渗气和真空门未关到位都会影响真空泵抽空能力，此外还需要逐级检查离子真空处理系统中的各连接点，看看是否有管道连接不良或损坏。
4. CDA压力过低报警
此报警也叫破空气体压力过低报警，是因为压缩空气的气压不足导致的，主要出现于配有高真空气动挡板阀的等离子设备。出现此报警时需检查CDA是否正常供气到设备端。确认供气压力有无过高或者过低，减压表的报警值设定是否正确，此外再对电气线路进行检查。
5. 真空计故障报警
真空计故障报警可能是真空计损坏造成的，需要检查真空计的控制线路是否有断路或者短路的情况。
6. 真空等离子处理系统的急停未复位或已按下，需打开急停开关
此时需检查急停是否被按下，如没有此情况，需检查急停线路。
了解了这些，相信大家在设备的操作过程中都会游刃有余的，如果您还有更多的疑问欢迎随时联系我们哦！
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