等离子清洗是一种干式清洗工艺,核心就是气体的使用,不用工艺需求的气体配方是不一样的,今天我们主要来聊聊为什么等离子清洗机选择氮气作为处理材料。

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1、氮气作为不活泼的气体,在反应过程中可以带来稳定的表面处理效果;

2、氮气在空气中含量高,获取比较轻松方便,降低成本;

3、氮气的处理能够有效控制产品表面成分,不会产品负面效果;

4、氮气是一种无色无味的气体,无毒也不爆炸,处理后可以直接排出,不许处理废弃;

5、氮气在一些表面处理工艺中是首选气体,能够更好的处理表面问题。

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除了作为单一的工艺气体,氮气还能够与氢气、氧气、氟化氮、四氟化碳等气体混合进行使用;常见的工艺气体分为活泼型和不活泼型:

不活泼气体如氩气(Ar)、氮气 (N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)和空气等

活泼气体如氧气(O2)、氢气(H2) 等

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当单一气体无法达到处理效果时,我们就需要对配方进行调整,采用混合型气体作为工艺气体处理,不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的,活泼气体的等离子体具有更强的化学反应活性。