最重要的肯定是等离子源也就是等离子发生器，它可以将气体电离成等离子体，产生高能离子对材料表面进行清洗、活化，那么它还有哪些元件呢？
1、气体系统：：提供所需气体，通常使用的气体有氢气、氮气、氧气等，其选择取决于清洗对象的材质和表面污染物种类。
2、真空系统：用于将清洗室内部的气体抽出，以便在清洗过程中维持一个合适的真空度。
2-1：真空泵：用于抽真空或破空，对真空室内气压进行调控；
2-2：真空处理室：产品处理的区域，也是等离子体作用的地方；
3、控制系统：半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制，不同产品采用不同控制方式；
4、腔体外壳：整个外观以及产品设计，好看的外观是设备的加分项，同时设计也需要根据厂家需求、尺寸、空间、摆放位置等等信息来处理；
5、等离子发生器：也是等离子源，有不同的频率，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的。
等离子清洗机一般为定制类设备，各类元件需要根据厂家实际需求、预算进行选择，达到产品快速生产的需求。
