等离子体表面处理工艺是非常重要的一种表面加工技术,其核心就是利用等离子体在高能量场中的物理、化学反应对材料表面进行反应,达到改性、活化等处理需求,那么有哪些应用方向呢?

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1、等离子体清洗:通过等离子体反应,将表面的污染物、氧化物等物质去除,等离子体轰击或生成挥发性物质,通过真空泵去除。

2、等离子体改性:利用等离子体反应,微观层次下,材料表面原本的结构发生改成,生产新的基团或者结构,从而获得表面活化、表面亲水等效果

3、等离子体刻蚀:通入腐蚀性气体对表面进行等离子体处理,气体与表面进行反应,腐蚀掉部分,从而形成细微的结构或者器件。

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4、等离子体沉积:利用等离子体的反应将内部的工艺气体生产为薄膜,覆盖于工件表面,达到表面处理的效果。

整个反应工艺需要注意什么呢?

1、注意环境气压、灰尘、温度、电压等等因素;

2、需要注意等离子体的能量密度以及均匀性;

3、工艺在处理时想要更好的处理效果,就需要考虑细节方面,调整工艺参数、气体配方、电源频率等等。

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等离子体表面处理工艺广泛的应用在金属、陶瓷、塑料等多种材料上,广泛应用与人类工业生产制造中。