半导体等离子清洗机是专业的半导体表面处理的设备,可以清洗晶圆、芯片、LED、铜支架等等半导体器件,有效地去除表面的污垢和有机物,同时也能增强表面的附着力和表面能,半导体等离子清洗机广泛应用于半导体、光电、微电子等领域。
半导体等离子清洗机原理
在半导体制程中,器件可能会沾染有机物、氧化层、粉尘、颗粒物等污染物,所以需要对这些污染物进行清洗,传统的工艺时湿法清洗,通过化学溶剂进行处理,经过多年的发展,等离子清洗得到了应用,设备利用高频电场将气体分子激发成等离子体,等离子体通过离子轰击表面产生的化学反应和物理效应,清洗污染物。
半导体等离子清洗机特点
1、高效:清洗效果快捷,短时间内能够完成清洗工作;
2、多功能:处理清洗表面,还能够提供表面改性活化的效果;
3、环保:干法处理工艺,不会造成污染,减少湿法工艺的溶剂处理的麻烦;
4、经济:设备使用成本低,使用寿命长,整体清洗成本非常实惠。
综上所述,半导体等离子清洗机具有高效、环保、多功能和经济等特点,是一种广泛应用于半导体制造过程的表面清洗设备。