等离子刻蚀是等离子表面工艺的一个应用方向，这是通过电离形成的等离子体与需要处理的材料表面进行结合，两者发生反应，生产挥发性的物质，通过真空抽走，最终完成对表面的处理。
一、等离子刻蚀设备介绍
等离子刻蚀设备主要由钣金外观、电源系统、真空腔体、气体控制系统、PLC控制等等组成；用户通过操作系统（PLC）对整个设备进行操作以及工艺参数的调整；不过需要注意的是：这类设备一般都是定制的，厂家根据客户本身需求、产品外观等等特点进行设计制造。
二、等离子刻蚀处理模式
直接模式：产品直接平行放入腔体内部，对于平整的产品能够达到好的刻蚀效果。
定向模式：产品比较特殊，需要独特的设计，这时候就需要对腔体、托架等进行定制设计；
下游模式：需要较小的刻蚀效果，产品放置于不带电托架上，减少刻蚀反应，达到自己需要的效果；
定制模式：直接模式下效果不理想，这时候可以对整个设备进行定制；
三、等离子刻蚀工艺优势
1、等离子刻蚀是干法刻蚀，能够减少化学刻蚀带来的成本；
2、减少化学刻蚀带来的废弃物处理的麻烦，更加环保；
3、设备、配方等等调整后，可以保障每批次的产品处理稳定；
等离子刻蚀设备已经在各种行业中得到了应用，并且获得很多行业的认可，能够帮助他们解决材料、产品的表面处理难题。
