等离子清洗机中的等离子体与自然界产生的等离子体本质上是一样的，是区别于固体、液体和气体的另一种物质聚集态，人们称之为物质存在的第四种状态。它由电离的导电气体组成，其中包括六种典型的粒子，即电子、正离子、负离子、激发态的原子或分子、基态的原子或分子以及光子。
在等离子清洗机当中，通常是由电场反应，对通入的工艺气体提供能量进行反应，从而形成等离子体的。其中真空等离子清洗机会多上一个步骤，在产生等离子体的环境中即真空腔室，将其抽真空达到需要的标准。
在这里等离子体中包含的基本粒子见下表：
在这里A指的是atom 原子，原子是组成物质的最小颗粒。原子由原子核以及围绕在原子核旁边的电子组成。电子的极性为负。原子核极性为正,包含了中子和质子。
M则是molecule分子，是独立存在而保持物质化学性质的最小粒子。分子有一定的大小和质量；分子间有一定的间隔；分子在不停的运动；分子间有一定的作用力；分子可以构成物质,分子在化学变化中还可以被分成更小的微粒：原子.分子可以随着温度的变化，在3态中互相转换。符号*表示激发态 ，+、- 表示正负属性。以上这些内容便是关于等离子清洗机的其中等离子体的原理讲解的应用，在实际需求当中，了解这些当然不足以应对所有情况，那些其他的原理我们在许多文章中都有所提及，如有需要可以前去查阅。
