明明是同一种工艺参数，任何条件都没有变，通过真空等离子清洗机的反应腔室观察，放电颜色经常会有所不同。这种情况，你遇到过吗？你好奇它产生的原因吗？究竟是因为什么呢?普乐斯的小伙伴给你来解答。
真空等离子清洗机放电的原理是，在一个密闭的腔室内，获得一定的真空度，然后通入相关工艺气体，激发能量形成等离子体。影响等离子体放电的参数包括：气体种类、气体比例、气压、气源供给、功率、频率等，其中与等离子体颜色密切相关的是气体、气压和气源。
不同工艺气体电离后每个原子的激发光谱不一样，颜色也是变化的，激励功率、频率不一样，即便同一个物种也会有不同的颜色，比如氩气是可以呈现淡紫色，或蓝色。何况等离子体产生的光不是单一的，而是混在一起的颜色。1 气体成分对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
不同工艺气体，例如氧气、氩气、氮气、四氟化碳等单一气体，或者是这些气体一种或两种以上的混合气体，不同比例，产生的等离子颜色是不同的。
以下图1是真空等离子清洗机放电状态
2 气压大小对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
真空等离子清洗机每一次运行前，都会抽真空，假如背底真空不同，反应腔体和管路里面有残余的气体，例如空气，真空度的不稳定，也会影响放电颜色。
以下图2是真空等离子清洗机放电状态
3 气源对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
真空等离子清洗机的气源纯度，气瓶残余气体成分或多少，是否混入气体气体等，也会影响放电的颜色。
以下图3是真空等离子清洗机放电状态
以上三张图，就是同一种参数在同样一台真空等离子清洗机运行的放电状态，是不是很神奇？不同等离子体颜色，直观反映出不同等离子体的成分，处理产品的效果会有差异。在工业应用中，为保证产品质量的稳定性、一致性，这种情况是要避免的。
解决办法：购买瓶装气体的渠道要正，保证气体的一定纯度；背底真空抽取和测量要有好的配套设施和计量计；腔体焊接质量要有保证，有侧漏环节，对漏率有要求等等。
