在等离子清洗机的过程中，其反应腔室内通过真空泵抽出空气获得一定的真空度之后，会通入一些相关气体，并且激发能量形成等离子体。在设备运作的过程中影响等离子体放电的参数包括：气体种类、气体比例、气压、气源供给、功率、频率等，其中与等离子体颜色密切相关的是气体、气压和气源。
以下是气体、气压和气源对真空等离子清洗机放电颜色的影响：
1、气体成分对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
如氧气、氩气、氮气、四氟化碳等单一气体，或者这些气体的混合气体，最后产生的等离子颜色是不同的。
2、气压大小对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
在真空等离子清洗机每一次运行中，都会将反应腔室处理成真空状态，但是如果在反应腔体和管路内有残余的气体，例如空气，真空度的不稳定就会影响放电颜色。
3、气体成分对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
真空等离子清洗机的气源纯度，气瓶残余气体成分或多少，是否混入气体气体等，都会影响放电的颜色。
除了这几个因素外，经由不同气体电离后的每个原子的激发光谱也是不一样的，这意味着颜色同样会发生变化。而且就算是同一气体在不同压强下也会呈现不同的颜色。如氩气会显现出淡紫色或者蓝色。
