在真空等离子清洗机的反应腔室的材质选择上，常见的材质包括石英玻璃、不锈钢和铝合金等，具体选择在不同行业和应用领域中会有所区别。而用于半导体行业的等离子清洗机大多采用铝合金，不知大家是否知道这是为什么，今天我们所要介绍的便与这点有关。
在半导体行业内，常使用到利用真空等离子清洗机清洗、刻蚀的作用，而这就会对反应腔室的材质选择有着一定的要求，因为在处理晶圆、支架等产品上对工艺环境的要求很高，相应地对反应腔室的材质也有着特定的选择，若是忽视了等离子的技术原理和各材质间的性质，最后的处理结果也会有着很大的不同。
而在处理半导体物件的真空等离子清洗机的反应腔室上，都会选择铝质的腔体，这大致有以下几点原因：
1、铝合金密度低，强度却高，还超过优质钢，并且可以有效降低设备的整体质量，机械加工性能比较好；
2、铝合金具有一些金属通常具备的优良的导电性、导热性和抗蚀性；
3、铝合金这一金属材料对化学反应的兼容性比较好，不易产生金属污染、particle等，能够满足等离子处理工艺和工业生产对于绿色环保的需求，符合产业可持续理念；
4、在表面处理方面铝合金能起到的作用较为丰富，包括电泳、喷涂、阳极氧化等；
5、铝合金的趋肤深度是不锈钢的10倍以上，使得在发生器运作后腔体内电流分布更均匀，并且腔体不容易发热，起到既能保证腔体状态稳定保证工艺质量的作用，相比其他许多金属又更加安全。
这些便是在实际使用中之所以选择铝合金作为处理半导体产品的真空等离子清洗机反应腔体整体材质的重要原因了，在考量中我们处于处理的效率问题、安全问题、环保问题等方面考虑，最后选择铝合金这一优质金属材料，这在某种程度上其实也是我们通过难以计数的实验所总结出的经验来决定的。
