不同于物质中的固体、液体、气体、等离子的存在是区别于以上三种的另一种物质聚集态，人们称之为物质存在的第四种状态。
1、什么是等离子？
它由电离的导电气体组成，其中包括六种典型的粒子，即电子、正离子、负离子、激发态的原子或分子、基态的原子或分子以及光子。
2、等离子清洗机的工作原理
在真空状态下，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，利用射频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢、四氟化碳等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子，然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去，从而达到表面清洁、活化等目的。
3、相比较传统清洗工艺等离子清洗机有什么优势？
相比较传统清洗工艺，等离子清洗机不会改变基体固有性能，改性作用仅仅发生在表面，约几到几十个纳米。如半导体纳米蚀刻。等离子清洗机的处理过程全程干燥，不需要溶解剂和水，几乎不会产生污染，所以等离子清洗不仅节约能源、还能够降低成本。等离子清洗作用时间短，反应速率高，加工对象广，对产品质量有很大的提升。等离子清洗的工艺简单、操作方便，生产可控性强，产品一致性好。等离子清洗技术使用中对使用者的身体不会造成伤害，属于一种健康型工艺。
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