气路控制阀种类繁多，在等离子清洗机当中常用的气路控制阀按操作方式可分为手动控制阀和自动控制阀，按控制方式又可分为气动控制阀和电磁阀，如按工作压力还可分为真空阀和低、中压控制阀等。那么等离子清洗机常用的气路控制阀又该如何选用呢？
等离子清洗机的气路控制主要由工艺气体控制和真空气路控制两大部分组成。工艺气体控制部分常用控制阀有真空电磁阀、止逆阀（止回阀）、气动球阀。真空气路控制部分常用控制阀有高真空气动挡板阀、手动高真空角阀、电磁真空带充气阀。
工艺气体控制常用控制阀主要有真空电磁阀、气动球阀、止逆阀。其中等离子清洗机需保证真空腔体内工作真空度在设计范围内，那么与真空腔体相连的阀门必须满足高真空密封的要求，所以常规的工艺气体控制都是选用真空电磁阀。因工艺气体都是单路控制，所以选用的真空电磁阀为两位两通式。
气动球阀具有高真空密封、耐腐蚀、口径大等特点，所以当真空等离子清洗需通入特殊单体时会被应用于气路控制中。根据实际使用需求选用两通式或三通式。
止逆阀又称止回阀，在气路控制中主要是防止气体回流，起到保护气路控制部分其他器件和防止相互反应气体汇合的作用。使用时需注意其标注的气流方向。
而真空气路控制常用控制阀主要包括高真空气动挡板阀（GDQ）、电磁真空带充气阀（DDC）和手动高真空角阀。通常真空等离子清洗机在短时间待机状态下会保持真空泵处于运行状态，高真空气动挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流，以实现真空腔体抽真空的启动和关闭。
高真空气动挡板由压缩空气作为动力，稳定可靠，而且维护方便，在真空等离子清洗机中被广泛应用。
电磁真空带充气阀用于真空泵随运行参数启动的真空等离子清洗机，属于电磁阀类。当真空泵运行时电磁真空带充气阀打开，真空泵关闭时阀门线圈断电阀门靠机械力关闭，其主要作用是防止真空泵内油气因真空腔体内负压作用而被倒吸。电磁真空带充气阀安装简单，但稳定性相对较差，长时间使用，阀门磁力会衰退同时复位弹簧易反应迟缓，目前大多被应用于实验型真空等离子清洗机。
真空等离子清洗机所用的手动高真空角阀通常为定制型，主要用于手动控制真空气路通断、分断测压等。通常会在角阀上焊接一个KF16接头，以便连接真空计。
最后，这种阀门在真空等离子清洗中已经很少被应用，主要应用于部分实验设备及真空管道检漏。
