工艺冷却水是工业生产中最常用的温度控制介质，应用非常广泛，按应用类别分主要分为无尘车间冷却、工艺设备冷却及生产制程冷却等，在等离子清洗机中的应用就属于工艺设备冷却。很多人可能会想，等离子清洗机不是低温等离子体的应用设备吗，为什么会用到工艺冷却水，又是如何正确使用呢？今天我们就为大家分享一下相关知识。
等离子清洗机所产生的等离子体是温度相对较低的，但在使用过程中，如果使用功率较高或处理时间过长都会出现电极板温度升高的情况，而且等离子清洗机通常会处理一些对温度比较敏感的产品，这时就需要根据用户要求对电极板进行降温，以达到对腔体内部温度稳定在要求范围的目的。
其中等离子清洗机的等离子发生器是设备的核心部件，小型的等离子清洗机通常使用功率小，等离子发生器自身所产生的热量也比较小，通常会采用风冷的方式进行冷却除温。但大型等离子清洗机都是会使用输出功率比较大的等离子发生器，在工作中自身产生的热量也是非常大的，为了保证设备使用的稳定性、增加其使用寿命，大功率的等离子发生器都是采用工艺冷却水除温的方式进行冷却降温。
干式真空泵在使用时机械结构间的摩擦又会产生非常高的温度，如不进行冷却降温真空泵运转时会出现转子或螺杆抱死的情况，导致报废。所以，干式真空泵在使用时需进行实时降温，所使用的方式就是工艺冷却水降温。部分干式泵在设计时为了保证减少电机的噪音和更好的做好电机防护通常还会选用水冷式电机，也需要工艺冷却水进行实时降温。
等离子清洗机所用的工艺冷却水来源主要有两个，分别为冷水机供应和用户端循环水供应。对于大型等离子清洗机建议配单独的冷水机，以便维护。等离子清洗机的冷却水的温度通常控制在20-50℃，根据实际需要进行调整；压力通常在0.3-0.5MPa；流量通常在2～7 SLM。实际参数需依实际使用需求为准。
等离子清洗机需要降温的都是关键部件，如出现温度过高或压力不足将会造成产品报废和设备部件损坏的情况，所以实时监控非常重要，一旦超出要求范围必须立刻报警停机。等离子清洗机的冷却水压力和流量监控通常是由水流开关完成，水流开关分为机械式和数量式，需串联在进水管上使用，当压力或流量过低时输出信号，实现设备的报警功能。等离子清洗机通常是在每一个温控部件的进水口都安装独立的水流开关，以保证稳定可靠。
温度报警的实现是通过在各部件上安装温度传感器、冷水机信号输出、各部件自带温度传感器信号输出等方式实现，具体实施方式需根据实际要求选择。在实际应用中为保证等离子清洗机的运行稳定，通常会选择多种方式同时使用。
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