当大家在接触等离子机的时候，有时候会听说“等离子鞘层”，今天就和大家来介绍介绍这方面的内容。
对于等离子鞘层的理解，通俗的来说就好像是把剑放在剑鞘里，将剑与外界所隔开，因此保护等离子体。这就是鞘层比较通俗直观的理解。对于等离子体来说，同样也存在鞘层。
在操作过程中我们可以发现，等离子清洗机形成的等离子体与设备腔壁之间或者是在处理指定的固体物件时的相邻交界处，会产生一层电位的薄层，明显偏离电中性，薄层把等离子包围起来，称为等离子鞘层，又名等离子体鞘。
对于等离子有一定了解的朋友们都知道，等离子清洗机产生的电子温度和离子温度都比较低，属于低温等离子体，在离子被鞘层电位加速，具有单一的能量，电子密度的变化符合玻尔兹曼分布规律。
等离子体鞘层在磁控溅射中的作用至关重要。考虑在一个平行的平板结构，内部有均匀分布的等离子体，由于电子的质量轻，离子的质量远高于电子，在考虑壁面吸收的边界条件下，电子运动到边界，因此壁面带负电，因此在靠近壁面处，电子的数量低于离子的数量，因此相对于边界来说，为正电势，该正电势会阻止电子到壁面的运动，同时会加速离子到壁面，从而造成壁面的溅射，从而完成对对材料的刻蚀以及表面处理。
等离子体的刻蚀在等离子体的研究中具有很重要的作用，几乎所有的放电等离子体都在边界处存在鞘层。因此鞘层的研究具有重要的意义，对于鞘层的模拟有粒子模拟和流体模拟两种方法。
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