等离子清洗机的工艺气体是影响到工艺参数中的重要部分，最后的处理结果也与它息息相关，那么等离子清洗机对气路的控制、维持工艺气体稳定是怎么做到的呢？
等离子清洗机通入的气体通常都是洁净度相对较高的工艺气体，所以气体调压及处理组件基本结构多为调压阀和过滤器组成。其主要作用是将气压控制在所需压力范围内及过滤气体中可能含有的杂质，以保证后端流量计等组件的运行稳定性和气体洁净度。目前真空等离子清洗机的常用的气体调压及处理组件按结构特点分为组合式和一体式两种。
而为了实时监控等离子清洗机的气体压力是否符合工作要求，在气体调压阀上都会安装带报警输出功能的压力表，在压力过低时输出报警信号，以保证设备和正常运行及工艺气体的稳定。带报警输出的减压表分为指针式和数显示两种。
等离子清洗机在工作时需维持工艺要求的真空度及真空腔体的密封，因此其连接腔体的各气路阀门必须满足真空密封要求，我们应该选择相匹配的带气路控制的真空电磁阀。真空等离子清洗机为保证运行稳定性，都是一个真空电磁阀控制一路气体，所选用的真空电磁阀都是两位两通式。
等离子清洗机的进气量是由流量计所控制的，其原理是通过调节通入气体阀门的大小来实现通流量的控制，等离子清洗机使用的流量计分为气体浮子流量计和质量流量控制器（MFC）两种。
气体浮子流量计是通过手动调整开启阀门的大小来实现气体流量控制，阀门开启后会受气体压力变化、震动等多因素影响而造成实际通入气体流量浮动范围大，不适用于对工艺气体流量要求严格的等离子清洗机。
质量控制器一般都是自动对工艺气体的质量流量进行精密测量和控制，保证等真空离子清洗机处理工艺的稳定；对于部分腐蚀性气体或其他特殊气体也可以实现精确控制。
最后，等离子清洗机的气体各控制组件及进气的顺序会先通过过滤器，再通过调压阀带报警输出压力表，接着是真空电磁阀，最后是质量控制器。
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